(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
从以上进程可以精确的看出，电子首先从电场取得能量，经过激起或电离将能量转移到分子或原子中去，取得能量的分子或原子被激起，一起有部分分子被电离，然后成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间彼此磕碰后生成安稳产品和热。别的，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质抓获，成为负离子。这类负离子具有非常好的化学活性，在化学反响中起着重要的效果。
低温等离子体技能处理污染物的原理为：在外加电场的效果下，介质放电发生的很多携能电子炮击污染物分子，使其电离、解离和激起，然后便引发了一系列杂乱的物理、化学反响，使杂乱大分子污染物转变为简略小分子安全物质，或使有毒有害于人体健康的物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，然后使污染物得以降解去除。因其电离后发生的电子均匀能量在10ev ，恰当操控反响条件能轻松完成正常的情况下难以完成或速度很慢的化学反响变得非常快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技能，等离子体受到了国内外相关学科界的高度重视。